电子无尘车间(如半导体、显示屏、PCB生产)对中央空调系统的要求极为严苛，需满足纳米级洁净度、超精密温湿度控制、静电防护及能耗优化等核心需求。以下是针对电子无尘车间的中央空调解决方案，涵盖系统设计、设备选型、洁净管理及实施要点。如有相关需求可以直接电话咨询，我们根据您具体的情况，制定专属方案。
1. 环境标准
参数 | 半导体车间(Class 1) | 显示屏车间(Class 10) | PCB车间(Class 100) |
洁净度 | ≥0.1μm粒子≤10个/m³ | ≥0.3μm粒子≤10³个/m³ | ≥0.5μm粒子≤10⁴个/m³ |
温度控制 | 22±0.1℃ | 23±0.5℃ | 25±1℃ |
湿度控制 | 45±1%RH | 50±3%RH | 55±5%RH |
静电控制 | ≤10V(ESD S20.20) | ≤50V | ≤100V |
2. 重点关注
微粒控制：AMC(气态分子污染物)浓度需≤0.1ppb
热负荷管理：光刻机等设备散热密度达500-1000W/㎡
系统兼容性：需兼容氮气/氩气等工艺气体环境
1. 分层净化系统
层级 | 技术方案 | 过滤效率 | 压差控制 |
初级 | 新风三级过滤(G4+F8+活性炭) | PM2.5过滤≥99.9% | +5Pa |
次级 | 循环风FFU(ULPA U15) | 0.12μm截留≥99.9995% | +15Pa |
终端 | 化学过滤器(AMC控制) | 酸/碱/有机物≥95% | +25Pa(核心区) |
2. 温湿度精准控制
双冷源除湿机组：
冷冻水(7/12℃)+转轮除湿(露点≤-40℃)复合控湿
湿度波动≤±0.5%RH(半导体车间)
干冷盘管技术：
避免冷凝水产生，湿度控制精度±1%RH
3. 静电消除系统
离子风系统：
平衡离子浓度(±5 ions/cm³)
表面静电消除≤0.5秒(从1000V到10V)
材料优化：
风管/过滤器框体采用碳纤维复合材料(表面电阻10⁶-10⁹Ω)
设备名称 | 技术参数 | 推荐品牌 |
ULPA超高效过滤器 | MPPS效率≥99.99995%@0.12μm | Camfil、AAF |
变频FFU系统 | 风速0.35-0.55m/s可调，噪音≤55dB | Nippon Muki、台达 |
AMC | 化学过滤器酸性气体(SOx/NOx)去除率≥99% | CLARCOR、Freudenberg |
静电消除离子风机 | 平衡电压±5V，覆盖半径≥3m | Simco-Ion、Keyence |
1. 气流模型
A[新风处理机组] --> B[循环风机组]
B --> C[FFU层流送风]
C --> D[高架地板回风]
D --> E[AMC化学过滤]
E --> B
2. 节能技术
变频优化：根据实时粒子浓度调节风机转速(节能25-40%)
热回收系统：排风显热回收效率≥70%(半导体厂年省电费≥100万元)
Free Cooling：冬季利用室外低温空气直接制冷(适用天数≥150天/年)
1. 验收标准
测试项目 | 方法标准 | 合格指标 |
洁净度测试 | ISO 14644-1 | 粒子数达标率100% |
AMC检测 | SEMI F21-1102 | 总VOCs≤0.1ppb |
气流均匀性 | IEST RP-CC006.3 | 风速波动≤±15% |
静电消散 | ANSI/ESD S20.20 | 消散时间≤2秒 |
2. 智能运维
预测性维护：振动传感器预警风机故障(提前14天准确率≥90%)
数字孪生系统：3D模型实时映射设备状态，运维效率提升40%
1. 成本概算
项目 | 金额明细(以1000㎡ Class 1车间为例) |
ULPA过滤系统（FFU+风管+化学过滤） | 600-800万元 |
温湿度控制机组（双冷源除湿+精密空调） | 300-450万元 |
静电管理系统（离子风机+监测系统） | 80-120万元 |
总成本 | 980-1370万元 |
2. 生产效益
良率提升：洁净度达标可使芯片良率从95%提升至99.9%(单厂年增收≥1亿元)
能耗优化：综合节能率≥35%，年省电费150-250万元
1. 微粒污染
解决方案：配置冗余FFU系统(N+1)，故障时自动切换
2. 湿度失控
解决方案：双路除湿机组+备用转轮，露点波动≤±1℃
1. 标准方案(适合Class 100-1000车间)
MERV15过滤+干盘管控湿
静电消除+基础AMC控制
2. 高阶方案(适合Class 1-10车间)
ULPA过滤+双冷源除湿
全场景AMC控制+AI运维
3. 合作模式
EPC总包：设计-施工-运维全流程服务。
服务热线：